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苏仪德石英舟检测设备的特点有哪些

发布时间：

2021/09/15 00:00

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其次是除光刻外，还有扩散和刻蚀这两道冰火二重天的前道工序，也要用到高纯石英材料。比如低温刻蚀工艺就要用到高纯石英环和石英保护罩，而高温扩散工艺则要高纯石英管、石英舟等。也正因如此，半导体设备公司，尤其是刻蚀设备的公司，比如、和等厂商，都要先对高纯石英材料进行认证后才能使用。

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除以上应用外，作为一种关键材料及部件，石英制品可用于半导体加工全过程。例如，石英管在半导体批量炉加工中被用作高纯反应腔室、气体或液体入口或运输管路；石英棒可用于制造船体、晶圆载体和基座；石英板可用于制造批量加工设备领域中的舟、基座、晶圆和晶圆载体。在单片加工设备中，板材被用来制作窗口、气体分布板、喷淋板、晶圆载体和载盘。

高纯石英砂在光伏领域主要用于制造高纯石英坩埚、石英舟等产品，其中石英坩埚用量。石英坩埚主要用于硅棒拉制，需要在1500℃以上的高温下连续200小时以上。使用高纯石英砂制成的坩埚杂质较少，拉晶过程中坩埚内壁不容易产生黑点气泡。由于高温烧制耗损速度快，因此石英坩埚更换周期较短，属于消耗性生产设备，下游需求量大。

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